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      • 所屬分類:愛德華真空泵維修

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      • 發布日期:2020/02/28
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      詳細介紹

      英國愛德華EDWARDS EPX系列干泵EPX180l維修

      產品介紹

      EPX系列干泵

      概述

      新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,運行成本更低。EPX500 使用了獨特的專利保護機械裝置,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
      模塊化 EPX500 基于備受贊譽、大獲成功的 IPX 系列,可提供卓越的性能,與 IPX 相比,包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。 

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      應用

      EPX 系列涵蓋廣泛的應用,從水處理到中度工作負載的制程。
      EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物(如負荷鎖定)且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

      功能和優勢

      緊湊的占地面積 – 作為可用的Z小工具上泵之一,EPX 顯著節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上,從而節省了前級管道和安裝成本,如果需要也可遠程安裝。

      低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式,從而可Z大化功率效率。

      獨特的專利保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力,并可以在所有進氣口壓力下連續工作。

      超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑,這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂,并且不存在任何其他的潛在污染源。

      非??煽?nbsp;– EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術,具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10),大約每 年維修一次,Z大程度地延長了泵的使用壽命。

      可兼容的網絡 - EPX 系列配有Z終用戶控制,可以連接到各種結構的網絡,以進行診斷監視和控制。 

      技術數據 


      EPX180

      EPX500

      峰值速度

      170 m3h-1

      500 m3h-1


      105 ft3min-1

      295 ft3min-1


      2835 l min-1

      8338 l min-1

      極限真空




      <1 x 10-4 mbar

      <1 x 10-6 mbar


      <7.5 x 10-5 Torr

      <7.5 x 10-7 Torr


      <1 x 10-2 Pa

      <1 x 10-4 Pa

      預熱時間(達到標稱性能)

      30 分鐘

      30 分鐘

      入口法蘭

      ISO63

      ISO160

      出口法蘭

      NW25

      NW25

      噪音 

      <59 dB(A)

      <59 dB(A)

      Z小冷卻水流速

      2 l m-1

      2 lmin-1

      冷卻水溫度

      15 – 35 °C

      15 – 35°C

      電源供給

      200/208 V,50/60 Hz 三相

      200/208 V,50/60 Hz 三相

      極限功率

      1.4 kW

      1.4 kW

      電機額定功率

      3.0 kW

      3.0 kW

      TIM

      C3

      SPI

      重量

      43.5 kg

      45.2 kg


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